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基于压阻式的高g值加速度计设计与制作

苏淑靖 刘思远

舰船电子工程2025,Vol.45Issue(9):P.206-210,5.
舰船电子工程2025,Vol.45Issue(9):P.206-210,5.DOI:10.3969/j.issn.1672-9730.2025.09.043

基于压阻式的高g值加速度计设计与制作

苏淑靖 1刘思远1

作者信息

  • 1. 中北大学仪器与电子学院省部共建动态测试技术国家重点实验室,太原030051
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摘要

关键词

加速度计/高g值/MEMS/固有频率

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

苏淑靖,刘思远..基于压阻式的高g值加速度计设计与制作[J].舰船电子工程,2025,45(9):P.206-210,5.

基金项目

国家自然科学基金项目(编号:51875534)资助。 (编号:51875534)

舰船电子工程

1672-9730

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