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Li_(2)O掺杂扩口微通道板框架材料离子刻蚀性能研究

李尚童 蔡华 贾金升 赵璇 李翔 那天一 马梦楠

人工晶体学报2025，Vol.54Issue(11)：P.1990-2001,12.
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人工晶体学报2025，Vol.54Issue(11)：P.1990-2001,12.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2025.0095

Li_(2)O掺杂扩口微通道板框架材料离子刻蚀性能研究

李尚童 1蔡华 1贾金升 2赵璇 1李翔 3那天一 1马梦楠1

作者信息

  • 1. 建筑材料行业特种光电材料重点实验室,北京100024 中国建筑材料科学研究总院有限公司,特种玻璃纤维与光电功能材料研究院,北京100024
  • 2. 中国建筑材料科学研究总院有限公司,特种玻璃纤维与光电功能材料研究院,北京100024
  • 3. 建筑材料行业特种光电材料重点实验室,北京100024 中国建筑材料科学研究总院有限公司,特种玻璃纤维与光电功能材料研究院,北京100024 广西大学物理科学与工程技术学院,南宁530000
  • 折叠

摘要

关键词

人工微结构材料/微通道板/锂硅酸盐玻璃/蒙特卡洛模拟/氧化物刻蚀/离子溅射

分类

化学化工

引用本文复制引用

李尚童,蔡华,贾金升,赵璇,李翔,那天一,马梦楠..Li_(2)O掺杂扩口微通道板框架材料离子刻蚀性能研究[J].人工晶体学报,2025,54(11):P.1990-2001,12.

基金项目

国家重点研发计划(2022YFF0709300) （2022YFF0709300）

国家自然科学基金(52202030) （52202030）

北京市高层次创新创业人才支持计划科技新星计划(20230484238)。 （20230484238）

人工晶体学报

OA北大核心

1000-985X

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