中国新技术新产品Issue(2)：11-15,5.
MOCVD冷却通道换热及优化研究
摘要
关键词
MOCVD设备/第三代半导体/AlN薄膜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李超,李辉,张凡,张龙..MOCVD冷却通道换热及优化研究[J].中国新技术新产品,2026,(2):11-15,5.基金项目
山西省科技重大专项计划"揭榜挂帅"项目"深紫外LED量产型金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)装备研发"(项目编号:202201030201008) （MOCVD）
山西省高等学校科技创新项目"MOCVD反应腔的多场耦合研究与优化设计"(项目编号:2023L331). （项目编号:2023L331）
