宿州学院学报2025，Vol.40Issue(12)：P.17-22,6.DOI:10.3969/j.issn.1673-2006.2025.12.004
M_(x)O_(y)(M=Fe,Co,Ni,Cu,Zn)基气敏元件制备及气敏性能研究
摘要
关键词
气敏传感器/金属氧化物半导体/一步退火法/气敏性能分类
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李俊锋,韩卢..M_(x)O_(y)(M=Fe,Co,Ni,Cu,Zn)基气敏元件制备及气敏性能研究[J].宿州学院学报,2025,40(12):P.17-22,6.基金项目
珠海市产学研合作及基础与应用基础研究项目(2320004002718)。 （2320004002718）
