工业工程2026，Vol.29Issue(1)：P.120-132,13.DOI:10.3969/j.issn.1007-7375.240320
考虑换模操作的双臂组合设备终止暂态调度
罗亚波 1巫琳 1张峰1
作者信息
- 1. 武汉理工大学机电工程学院,湖北武汉430070
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摘要
关键词
晶圆制造/双臂组合设备/Petri网/掩膜版更换/终止暂态分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
罗亚波,巫琳,张峰..考虑换模操作的双臂组合设备终止暂态调度[J].工业工程,2026,29(1):P.120-132,13.
