机电信息Issue(6)：35-38,4.DOI:10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2026.06.009
基于气体电离的MEMS电场传感器设计与研究
刘启 1吕明泽 1曹至欣 1赵君1
作者信息
- 1. 中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所,陕西 西安 710068
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摘要
关键词
MEMS/气体电离/工频电场分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘启,吕明泽,曹至欣,赵君..基于气体电离的MEMS电场传感器设计与研究[J].机电信息,2026,(6):35-38,4.
