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激光刻蚀溅射沟槽均热板的传热性能可视化研究

娄德元 董超帅 刘凯 吴传中 陈鹏健 李倩靓 杨奇彪 成健 万辉 翟中生 刘顿

表面技术2026,Vol.55Issue(10):P.141-152,12.
表面技术2026,Vol.55Issue(10):P.141-152,12.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2026.10.012

激光刻蚀溅射沟槽均热板的传热性能可视化研究

娄德元 1董超帅 1刘凯 1吴传中 2陈鹏健 3李倩靓 1杨奇彪 1成健 1万辉 1翟中生 4刘顿1

作者信息

  • 1. 湖北工业大学机械工程学院超快激光加工研究中心,武汉430068
  • 2. 湖北工业大学机械工程学院超快激光加工研究中心,武汉430068 湖北省现代制造质量工程重点实验室,武汉430068
  • 3. 湖北工业大学机械工程学院超快激光加工研究中心,武汉430068 苏州天弘激光股份有限公司,江苏苏州215128
  • 4. 湖北省现代制造质量工程重点实验室,武汉430068
  • 折叠

摘要

关键词

双结构复合沟槽/吸液芯/激光刻蚀溅射/可视化/均热板/传热性能

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

娄德元,董超帅,刘凯,吴传中,陈鹏健,李倩靓,杨奇彪,成健,万辉,翟中生,刘顿..激光刻蚀溅射沟槽均热板的传热性能可视化研究[J].表面技术,2026,55(10):P.141-152,12.

基金项目

湖北省重点研发计划项目(2025BAB045,2025BAB108) (2025BAB045,2025BAB108)

湖北省轻工业绿色材料重点实验室开放基金(202107A03)。 (202107A03)

表面技术

1001-3660

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