上海航天(中英文)2026，Vol.43Issue(S1)：P.134-140,7.DOI:10.19328/j.cnki.2096-8655.2026.S1.014
基于有限元方法的TSV热应力及其失效分析
摘要
关键词
硅通孔/有限元分析/热膨胀系数/热应力/失效模式分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张围,白郁,张少溪,孙浩然,廉鹏飞..基于有限元方法的TSV热应力及其失效分析[J].上海航天(中英文),2026,43(S1):P.134-140,7.基金项目
上海市科学技术委员会资助号(22DZ2229004) （22DZ2229004）
国防科技工业抗辐照应用技术创新中心创新基金(KFZC2023020203) （KFZC2023020203）
新一代人工智能重大专项项目(2020AAA0109001)。 （2020AAA0109001）
