光学精密工程2026，Vol.34Issue(10)：P.1568-1579,12.DOI:10.37188/OPE.20263410.1568
鲁棒全局优化的晶圆多目视觉对准方法
摘要
关键词
多目视觉/晶圆对准/精密装配/LM算法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王晓东,陈晓浩,邹正苏,高昆榉,徐征..鲁棒全局优化的晶圆多目视觉对准方法[J].光学精密工程,2026,34(10):P.1568-1579,12.基金项目
部委基础科研计划资助项目(No.JCKY2022203B006) （No.JCKY2022203B006）
中央高校基本科研业务费资助项目(No.DUT24LAB112)。 （No.DUT24LAB112）
