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微间隙升华结合自封闭退火制备GeSe/Si薄膜异质结高稳定快速响应近红外光探测器

覃海南 段慧敏 李佳泉 黄晓彭 马胜 孙进 江秀锦 罗鼎 孙一鸣 宋伟东

物理学报2026，Vol.75Issue(13)：P.401-411,11.
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物理学报2026，Vol.75Issue(13)：P.401-411,11.DOI:10.7498/aps.75.20260168

微间隙升华结合自封闭退火制备GeSe/Si薄膜异质结高稳定快速响应近红外光探测器

覃海南 1段慧敏 1李佳泉 1黄晓彭 1马胜 1孙进 1江秀锦 1罗鼎 1孙一鸣 2宋伟东1

作者信息

  • 1. 五邑大学应用物理与材料学院,江门529020
  • 2. 华南师范大学半导体科学与技术学院,广州510631
  • 折叠

摘要

关键词

硒化亚锗/微间隙升华/自封闭退火/异质结/近红外光探测器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

覃海南,段慧敏,李佳泉,黄晓彭,马胜,孙进,江秀锦,罗鼎,孙一鸣,宋伟东..微间隙升华结合自封闭退火制备GeSe/Si薄膜异质结高稳定快速响应近红外光探测器[J].物理学报,2026,75(13):P.401-411,11.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:62504169) （批准号:62504169）

广东省教育厅普通高校重点科研平台和项目计划(批准号:2024ZDZX1010) （批准号:2024ZDZX1010）

广东省基础与应用基础研究基金(批准号:2023A1515011678)资助的课题。 （批准号:2023A1515011678）

物理学报

1000-3290

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