华南理工大学学报(自然科学版)2026，Vol.54Issue(7)：P.35-49,15.DOI:10.12141/j.issn.1000-565X.250273
压电微机械超声换能器制备工艺及性能优化策略综述
摘要
关键词
压电微机械超声换能器/制备工艺/谐振频率/高灵敏度/宽频带分类
通用工业技术引用本文复制引用
李一凡,刘玉荣..压电微机械超声换能器制备工艺及性能优化策略综述[J].华南理工大学学报(自然科学版),2026,54(7):P.35-49,15.基金项目
广东省基础与应用基础研究基金项目(2024A1515011719)。 （2024A1515011719）
