人工晶体学报2026，Vol.55Issue(6)：P.878-885,8.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2026.0031
2英寸氮化铝单晶应力模拟、热键合及生长研究
高飞 1辛倩 2王英民 3程红娟 4王增华4
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津300220 山东大学集成电路学院,济南250100 新型半导体晶体材料技术重点实验室,天津300220
- 2. 山东大学集成电路学院,济南250100
- 3. 山西烁科晶体有限公司,太原030062
- 4. 中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津300220 新型半导体晶体材料技术重点实验室,天津300220
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摘要
关键词
氮化铝单晶/应力抑制/有限元分析/热膨胀系数/物理气相传输/热键合分类
数理科学引用本文复制引用
高飞,辛倩,王英民,程红娟,王增华..2英寸氮化铝单晶应力模拟、热键合及生长研究[J].人工晶体学报,2026,55(6):P.878-885,8.
