黑龙江科技大学学报2026，Vol.36Issue(4)：P.603-609,7.DOI:10.3969/j.issn.2095-7262.2026.04.013
AFM金刚石探针刻划单晶硅去除机理的仿真研究
摘要
关键词
AFM探针刻划/单晶硅加工/去除机理/分子动力学模拟仿真分类
矿业与冶金引用本文复制引用
齐立涛,林欣悦,仇俊源..AFM金刚石探针刻划单晶硅去除机理的仿真研究[J].黑龙江科技大学学报,2026,36(4):P.603-609,7.基金项目
国家自然科学基金青年项目(51205113) （51205113）
黑龙江省自然科学基金项目(E2017060)。 （E2017060）
