舰船电子工程2026，Vol.46Issue(5)：P.163-169,7.DOI:10.3969/j.issn.1672-9730.2026.05.032
非接触调频原子力显微镜悬臂控制系统设计
摘要
关键词
非接触调频原子力显微镜/锁相环/悬臂控制/FPGA分类
机械制造引用本文复制引用
陈纵横,姚志飞,曾德超,孙秋园,马宗敏..非接触调频原子力显微镜悬臂控制系统设计[J].舰船电子工程,2026,46(5):P.163-169,7.基金项目
国家重点研发计划项目(编号:2022YFC2204104) （编号:2022YFC2204104）
国家自然科学基金国际合作与交流项目(编号:62220106012) （编号:62220106012）
山西省杰出青年基金项目(编号:202103021221007) （编号:202103021221007）
山西省量子传感与精密测量重点实验室项目(编号:201905D121001) （编号:201905D121001）
山西省量子传感与精密测量国际联合实验室项目(编号:202204041101015)资助。 （编号:202204041101015）
