光学精密工程2026，Vol.34Issue(13)：P.2033-2049,17.DOI:10.37188/OPE.20263413.2033
单晶碳化硅的双脉冲皮秒激光协同机械裂片复合切割加工
摘要
关键词
激光加工/4H-SiC/皮秒激光/双脉冲/激光切割分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵元豪,姚鹏,褚东凯,杨梓萌,王庆伟,屈硕硕..单晶碳化硅的双脉冲皮秒激光协同机械裂片复合切割加工[J].光学精密工程,2026,34(13):P.2033-2049,17.基金项目
国家重点研发计划资助项目(No.2024YFB4608903) （No.2024YFB4608903）
国家自然科学基金资助项目(No.U23A20632) （No.U23A20632）
山东省自然科学基金重大基础研究资助项目(No.ZR2023ZD34) （No.ZR2023ZD34）
山东省重大科技创新工程资助项目(No.2023CXGC010207)。 （No.2023CXGC010207）
