光学精密工程2026，Vol.34Issue(12)：P.1807-1816,10.DOI:10.37188/OPE.20263412.1807
激光差动对准的动态角高精度光学测量系统
摘要
关键词
光学设计/差动对准/高精度/像差抑制分类
机械制造引用本文复制引用
刘龙康,赵维谦,汝洪武,魏晓玺,邱丽荣,王允..激光差动对准的动态角高精度光学测量系统[J].光学精密工程,2026,34(12):P.1807-1816,10.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52575609) （No.52575609）
北京理工大学科学创新计划(No.2023CX01006)。 （No.2023CX01006）
