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基于侧栅AlGaN/GaN HEMT的共振探测太赫兹探测器

靳晨阳 康亚茹 李叶然 颜伟 宁瑾 赵永梅 李兆峰 杨富华 王晓东

红外与毫米波学报2026,Vol.45Issue(3):357-365,9.
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红外与毫米波学报2026,Vol.45Issue(3):357-365,9.DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2026.03.002

基于侧栅AlGaN/GaN HEMT的共振探测太赫兹探测器

Terahertz detector based on side-gate AlGaN/GaN HEMT for resonant detection

靳晨阳 1康亚茹 2李叶然 3颜伟 4宁瑾 1赵永梅 1李兆峰 5杨富华 6王晓东7

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所 半导体集成技术工程研究中心,北京 100083||中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 100049||中国科学院大学 电子电气与通信工程学院,北京 100049||中国科学院大学 集成电路学院,北京 100049
  • 2. 中国科学院半导体研究所 半导体集成技术工程研究中心,北京 100083||中国科学院大学 集成电路学院,北京 100049
  • 3. 中国科学院半导体研究所 半导体集成技术工程研究中心,北京 100083||中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 100049||怀柔实验室,北京 101499
  • 4. 中国科学院半导体研究所 半导体集成技术工程研究中心,北京 100083||中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 100049
  • 5. 中国科学院半导体研究所 半导体集成技术工程研究中心,北京 100083||中国科学院大学 材料科学与光电研究中心,北京 100049||中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 100049||中国科学院大学 电子电气与通信工程学院,北京 100049||中国科学院大学 集成电路学院,北京 100049
  • 6. 中国科学院半导体研究所 半导体集成技术工程研究中心,北京 100083||中国科学院大学 材料科学与光电研究中心,北京 100049||中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 100049
  • 7. 中国科学院半导体研究所 半导体集成技术工程研究中心,北京 100083||中国科学院大学 材料科学与光电研究中心,北京 100049||中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 100049||中国科学院大学 集成电路学院,北京 100049
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摘要

Abstract

In high-electron-mobility transistor(HEMT)terahertz detectors,an excessively wide gate can generate oblique modes in the channel,resulting in weakened resonant detection signals and a broadened resonance peak.To address this issue,a side-gate HEMT(EdgeFET)structure was proposed.A resonant detection model for the side-gate device was established based on the hydrodynamic equations of the two-dimensional electron gas(2DEG)in conventional HEMT.A side-gate HEMT detector was fabricated,and terahertz resonant detection ex-periments were conducted at 77 K.The experimental results indicated that EdgeFET demonstrated distinct reso-nant responses at 77 K,with the resonant responsivity reaching 3.7 times the maximum non-resonant responsivi-ty.The experimental data were fitted using the theoretical model to validate its accuracy.These results strongly confirm the effectiveness of EdgeFET in enhancing the resonant performance of the detector,providing a new technological approach for the development of next-generation high-performance terahertz detectors.

关键词

AlGaN/GaN HEMT/侧栅/太赫兹/共振探测

Key words

AlGaN/GaN HEMT/side-gate/terahertz/resonant detection

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

靳晨阳,康亚茹,李叶然,颜伟,宁瑾,赵永梅,李兆峰,杨富华,王晓东..基于侧栅AlGaN/GaN HEMT的共振探测太赫兹探测器[J].红外与毫米波学报,2026,45(3):357-365,9.

基金项目

Supported by the Strategic Priority Research Program of Chinese Academy of Sciences(XDB43020502) (XDB43020502)

CAS Project for Young Scien-tists in Basic Research(YSBR-064). (YSBR-064)

红外与毫米波学报

1001-9014

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