硅酸盐学报2026，Vol.54Issue(7)：P.2325-2337,13.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20260150
金属有机框架材料图案化技术研究进展
许潇逸 1吴月梅 1黄宁1
作者信息
- 1. 硅及先进半导体材料全国重点实验室,浙江大学高分子科学与工程学系,杭州310027
- 折叠
摘要
关键词
金属有机框架/图案化/光刻/微纳加工分类
化学化工引用本文复制引用
许潇逸,吴月梅,黄宁..金属有机框架材料图案化技术研究进展[J].硅酸盐学报,2026,54(7):P.2325-2337,13.基金项目
浙江省杰出青年科学基金(LR25B040001)。 （LR25B040001）
