真空电子技术Issue(4)：P.75-80,94,7.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2026.04.08
面向RGA的轴向平行多阴极离子源设计与试验验证
摘要
关键词
残余气体分析仪/热发射离子源/多阴极/轴向平行/质谱仪分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李志伟,余玉强,孙露露,薛兵,魏贤龙..面向RGA的轴向平行多阴极离子源设计与试验验证[J].真空电子技术,2026,(4):P.75-80,94,7.基金项目
国家自然科学基金(62401019) （62401019）
北京“高创计划”-青年人才托举工程(20250757) （20250757）
国家自然科学基金(62350040)。 （62350040）
