真空电子技术Issue(4)：P.40-45,52,7.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2026.04.05
用于半导体电子束成像量测的多模式复合电磁物镜设计与性能分析
赵焱 1彭翔宇 2马志国 1董鹤鹏 1于文治1
作者信息
- 1. 苏州矽视科技有限公司,江苏苏州215000
- 2. 西安交通大学电子科学与工程学院电子物理与器件教育部重点实验室,陕西西安710049
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摘要
关键词
扫描电子显微镜/半导体量测/关键尺寸量测/套刻精度/复合电磁物镜/浸没透镜分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵焱,彭翔宇,马志国,董鹤鹏,于文治..用于半导体电子束成像量测的多模式复合电磁物镜设计与性能分析[J].真空电子技术,2026,(4):P.40-45,52,7.
