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富加镓业成功将氧化镓外延薄膜边界拓展至12英寸

齐红基

人工晶体学报2026，Vol.55Issue(8)：P.1321-1321,1.
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人工晶体学报2026，Vol.55Issue(8)：P.1321-1321,1.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2026.0143

富加镓业成功将氧化镓外延薄膜边界拓展至12英寸

齐红基1

作者信息

  • 1. 富加镓业
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摘要

关键词

厚度均匀性/薄膜/12英寸/氧化镓/MOCVD外延

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

齐红基..富加镓业成功将氧化镓外延薄膜边界拓展至12英寸[J].人工晶体学报,2026,55(8):P.1321-1321,1.

人工晶体学报

1000-985X

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