- 年份
- 2007（1）
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- 刊名
- 半导体学报（1）
- 语种
- 汉语（1）
- 关键词
- "8悬臂梁-质量块"结构（1）
- (111)硅晶圆（1）
- x轴（1）
- 微机械陀螺（1）
- 限制槽（1）
- 音叉式陀螺（1）
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- 作者
- 宓斌玮（1）
- 张颖（1）
- 李金鹏（1）
- 段飞（1）
- 焦继伟（1）
- 王育才（1）
- 王跃林（1）
- 钱清（1）
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- 基于"8悬臂梁-质量块"结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺北大核心CSCDCSTPCD