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2008
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中国科技论文与引文数据库(CSTPCD)
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机械与电子
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三维电控平移台
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检测仪
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污染物
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朱小龙
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光学元件表面污染物检测仪系统研究与开发
CSTPCD
作者:
蒋勇
谢志江
朱小龙
发表期刊:
机械与电子 2008年12期
关键词:
检测仪
污染物
线扫描相机
三维电控平移台
疵病
摘要:
针对光学元件表面污染物,设计了污染物检测仪系统.阐述了系统硬件和软件的构成,简单介绍了污染物图像的处理,分析了相机在扫描过程中的运动控制,以及高精度的运动控制的实现.最后提出了污染物与疵病区分的理论与方法.