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应用于压电叠堆泵的微位移放大机构北大核心CSCDCSTPCD
作者：杨志刚刘登云吴丽萍陈洪涛刘鹏
发表期刊：光学精密工程 2007年6期
关键词：压电叠堆泵放大机构微位移柔性铰链三角形放大
摘要：提出了一种应用于压电叠堆泵的微位移放大机构,该机构以压电叠堆(积层式压电微位移器)为驱动元件,通过基于三角形放大原理的柔性铰链放大机构,放大压电叠堆的输出位移.同时,设计、研制了实验装置,并在试制样机上对其静、动态特性进行了实验.实验测试结果表明:该机构对压电叠堆输出位移的放大倍数达到5倍,并且该机构具有线性良好、高分辨率、高频响应等特点.由有限元分析得到的固有频率达到了1.8 kHz,实际测量的固有频率为1.5 kHz.
集成光电传感器的研究北大核心CSCDCSTPCD
作者：黄伟周肇飞张涛
发表期刊：激光技术 2004年6期
关键词：光电传感器传感器集成粗糙度微位移微观轮廓
摘要：为适应现代加工技术的需要,研制了一种集成非接触式光电传感器,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度3种测量方式结合起来,实现同时测量3种参数的功能.通过运用自适应滤波对数据进行处理,其测量精度与单功能传感器相近.
光学加工工艺与设备
作者：
发表期刊：中国光学 1999年2期
关键词：非轴对称光学镜面单点金刚石切削切削加工压电陶瓷微机控制切削刀具微位移大连理工大学像差补偿伺服刀架
摘要：TQ171.683 99021336数控单点金刚石切削非轴对称光学镜面=Machiningnon-rotationally symmetric precision opticmirror surface with numerical control-single-point diamond turning[刊,中]/任要正(北京理工大学科技处.北京(100081)),廖月明,朱派龙,孙伟(大连理工大学机械系.辽宁,大连(116023)…查看全部>>
光学拼接镜面微位移主动调节机构的设计和实测北大核心CSCD
作者：杨德华戚永军朱振东姜方华陈昆新张如
发表期刊：光学精密工程 2005年2期
关键词：微位移分辨率位移测量杠杆位移传感器
摘要：设计和制造了一套微位移主动调节机构和支撑系统,用以实现拼接镜面天文光学望远镜的每块平面子镜精密地调节倾斜和轴向平移,并在典型的仰角工况下对该机构进行了实测.设计技术要求子镜主动调节行程须达±1 mm,同时分辨率须达50 nm以下.选用了工作行程为6 mm和分辨率为50 nm的位移促动器,并引入杠杆机构提高位移分辨率和抑制误差;采用平衡配重和预拉弹簧机构使工作中位移促动器上保持恒定负载,以保护位移促动器和保证其输出位移精度.依据拼接镜面…查看全部>>
基于图像技术的微位移检测方法及其应用北大核心CSCD
作者：刘伟文赵辉
发表期刊：传感技术学报 2005年2期
关键词：图像微位移路径匹配边缘检测
摘要：为提高刚度测量中位移检测的精度,提出一种图像式微位移检测方法.该方法采用边界拟合和"路径匹配"技术,使位移量的检测精度达到了亚微米级.此微位移检测方法已用于弹性元件刚度测量仪中,并采用激光干涉仪进行标定.实验结果表明,微位移检测方法稳定性好,速度快且获得了优于0.1μm的精度.
精密导轨运动特性实验装置设计
作者：杜旭超胡鹏浩陶壹
发表期刊：黑龙江科技学院学报 2007年6期
关键词：微位移导轨摩擦特性爬行现象
摘要：为了进一步研究不同类型导轨在小行程微位移情况下,尤其在微纳米运动尺度下,运动特性对精密仪器精度的影响,并且考察导轨的低速爬行等性能对运动平稳性、准确性的影响.设计了一种精密导轨运动特性实验装置.该装置采用直线步进电机和通过滑轮上的细绳牵引滑块移动两种驱动方式,并设计了滑动导轨、滚动导轨和静压导轨三种导轨类型.这种设计形式为微纳米运动条件下,测试与分析实验结果、明确速度与摩擦力的关系、减小系统误差、提高仪器精度等提供了理论基础.
纳米级变间隙半球电容计算及其测量电路研究北大核心CSCDCSTPCD
作者：吴秋平高钟毓王永梁贺晓霞
发表期刊：南京理工大学学报（自然科学版） 2004年1期
关键词：静电平衡微位移电容电桥间隙电容
摘要：为了实现高精度球形转子的平衡测量,讨论半球电极支承下静电悬浮装置的变间隙电容的计算公式和纳米级电容精密测量问题.基于半球支承下的转子位移测量原理,分析转子与电极间电容和间隙的关系,给出高精度转子位移测量方案.测试结果表明,电路性能与理论分析结果吻合较好,转子位移测量电路的位移分辨率优于0.2nm、5h零位漂移小于0.01μm、通频带大于20kHz,可以满足高精度球形转子平衡测量的要求.
膜片式液压微位移执行器设计与特性分析北大核心CSTPCD
作者：贺伟国凯孙杰
发表期刊：液压与气动 2024年9期
关键词：微位移膜片式液压执行器
摘要：微位移执行器是实现高精度控制的关键装置,广泛应用于精密伺服系统、芯片生产以及超精密加工领域。针对传统微位移执行器结构复杂、输出力小、行程短等问题,提出基于帕斯卡原理的膜片式液压微位移执行器。首先,建立了复合载荷下执行器的力学模型,并采用逐次修正法推导了应力-应变的迭代求解式。其次,研究了执行器关键参数对执行器行程和应力的影响规律。在此基础上,建立了以材料强度和设计行程为约束的膜片式液压执行器的优化设计流程。最后,通过有限元仿真验证了执…查看全部>>
纳流通道-谐振腔耦合结构测量荧光物质微位移北大核心CSCDCSTPCD
作者：李霖伟陈智辉杨毅彪费宏明
发表期刊：中国光学 2021年1期
关键词：纳流通道谐振腔量子点微位移
摘要：本文提出了一种纳流通道-谐振腔耦合结构,用于实现对荧光物质微位移的检测.在本文中,首先,使用时域有限差分法,研究了量子点偏振态及结构参数对荧光与结构耦合效果的影响,进而对结构进行优化;然后,通过测量耦合结构输出光功率的变化,实现对荧光物质微位移的检测;最后,对影响传感灵敏度的因素进行研究.结果表明,相比传统方法,纳流通道-谐振腔耦合结构的折射率处于2.S-3.3之内时,该结构都可以实现对荧光物质微位移的高精度准确传感,并且通过减小纳流…查看全部>>
AD698在DGC-6PG/A差动电感式位移传感器中的应用CSTPCD
作者：段中华王中训胡自强
发表期刊：现代电子技术 2008年4期
关键词：AD698差动电感式位移传感器纹波噪声微位移
摘要：主要研究AD698在差动电感式位移传感器中的应用.对差动电感式位移传感器的原理做了简要分析,给出AD698在DGC-6PG/A中应用的电路原理图,并对实际电路中出现的纹波噪声进行详细的分析,提出减小纹波噪声的有效措施,最终达到理想的效果.并给出实验结果,在与微位移相关的机械量的测量以及纹波噪声的处理方面具有借鉴意义.

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