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- 微加速计固有频率的推导及验证北大核心CSCDCSTPCD摘要：为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性,避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的.文中针对一种四边八梁结构的高g值压阻式加速度计,通过力学知识,简化结构并推导出其固有频率的理论计算公式,利用有限元仿真软件和测试高g值加速度计频率特性的方法,对该理论公式进行了仿真和实验验证,证明该理论公式的正确性和可用性.同时,文中介绍的简化结构的模型,能够用于复杂结构的应力、应变等的求解,验证的…查看全部>>
- 基于共振隧穿压阻薄膜的GaAs基微加速度计研究CSTPCD
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- 基于梳齿间距偏差的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应模型北大核心CSCDCSTPCD摘要：源于概率统计理论,针对梳齿电容的微细加工偏差,给出了当各梳齿间距偏差在一定范围内独立且均匀分布时.单边电容和双边电容驱动的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应物理模型.经过有限元仿真和Monte Carlo模拟验证,结果表明理论模型与仿真值之差小于10%.模型指出,当梳齿间距偏差由0变化到20%,加速度计在受到冲击与阶跃加速度信号作用时,其可靠工作范围将比无偏差理想情况下降10%～15%.该模型可望应用于实际有加工偏差的微加速度计可靠工作范围预先评估与设计.
- 微加速度计研究的进展北大核心CSCDCSTPCD