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年份
1996
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理化检验:物理分册
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汉语
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关键词
CVD
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光学显微镜
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微差干涉衬度
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金刚石薄膜
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作者
刘正义
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匡同春
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条结果
金相法在CVD金刚石薄膜研究中的应用
作者:
匡同春
刘正义
发表期刊:
理化检验:物理分册 1996年4期
关键词:
CVD
金刚石薄膜
光学显微镜
微差干涉衬度
摘要:
用MeF_3高分辨金相显微镜对低压CVD金刚石薄膜进行了形貌观察,并借助该显微镜配备的功能模块测量了金刚石颗粒大小、薄膜厚度;利用显微镜正焦与过焦观察可判断金刚石薄膜的成膜状况;利用其微差干涉衬度功能,得到了立体感强、衬底鲜明、色彩艳丽的彩色金相照片。