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  • 传感技术学报（23）
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  • 西安电子科技大学学报（自然科学版）（6）
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  • 作者单位
  • 西南科技大学（14）
  • 东南大学（8）
  • 上海交通大学（7）
  • 西安电子科技大学（7）
  • 北京工业大学（4）
  • 浙江大学（4）
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  • 华中科技大学（3）
  • 南开大学（3）
  • 吉林大学（3）
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  • 语种
  • 汉语（163）

  • 关键词
  • 微电子机械系统（163）
  • 光开关（5）
  • 加速度计（5）
  • 微加速度计（4）
  • 微执行器（4）
  • 微机械（4）
  • 三轴加速度（3）
  • 光通信（3）
  • 尺寸效应（3）
  • 微泵（3）
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  • 作者
  • 高杨（20）
  • 贾建援（7）
  • 刘婷婷（6）
  • 黄庆安（5）
  • 徐晨（4）
  • 文数文（4）
  • 李磊民（4）
  • 沈光地（4）
  • 田文超（4）
  • 胡强高（4）
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