- 年份
- 2008（1）
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- 刊名
- 半导体学报（1）
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- 关键词
- 光学临近效应修正（1）
- 掩模版误差因子（1）
- 有效光刻胶扩散长度（1）
- 深紫外线（1）
- 禁止光学空间周期（1）
- 离轴照明（1）
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- 作者
- 曹永峰（1）
- 朱骏（1）
- 赵宇航（1）
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- 130nm以下光刻禁止光学空间周期的系统性研究北大核心CSCDCSTPCD