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两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用北大核心CSCDCSTPCD
作者：叶超陈贤祥彭春荣陶虎夏善红
发表期刊：半导体学报 2006年9期
关键词：热驱动结构V型梁阵列位移放大机构电场传感器
摘要：设计并制备出两种新型电热驱动微型静电场传感器.一种利用了V型梁阵列作为驱动结构,另一种引入了位移放大机构.针对传感器的弱电流输出信号,建立了基于锁相放大器的测试系统对两种传感器的输出信号进行检测.测试结果表明,两种传感器都具有线性的输出特性,且带有位移放大机构的电场传感器具有更高的灵敏度.
光电集成强电场传感器的频率特性校准研究北大核心CSCDCSTPCD
作者：牛犇曾嵘耿屹楠李欢
发表期刊：高电压技术 2009年8期
关键词：电场传感器校准光电集成频率特性上升时间上限截止频率
摘要：为了将光电集成电场传感器用于时域电场测量,为高电压技术领域的研究工作提供一种有效的实验手段,需要校准传感器的频率特性,常用的实验手段无法满足上述校准需求,故结合高电压工程领域电场传感器校准的基本要求和光电集成电场传感器的特点,分析并确定了传感器时域校准的方案,利用有界波电磁脉冲模拟器开展校准工作,通过实验与计算获得了传感器的上升时间和上限截止频率等,为传感器的测量应用打下了基础.
交错振动式微型电场传感器北大核心CSCD
作者：龚超陶虎白强陈绍凤夏善红
发表期刊：中国机械工程 2005年z1期
关键词：电场传感器微机电系统交错振动式有限元
摘要：介绍一种由基底、感应电极、屏蔽电极和驱动结构组成的新型微型电场传感器.与其他微型传感器相比,该传感器采用独特的交错振动的工作方式,显著地提高了传感器感应电场的能力和稳定性.传感器采用压电陶瓷制作驱动结构,可以在较低的驱动电压下获得较大的振动幅度,降低了驱动对输出的串扰,从而提高了器件的信噪比.试验结果表明,传感器的分辨率优于100V/m,为目前微型电场传感器中最高水平.介绍了此种传感器的结构、原理,以及传感器样品的测试结果.
一种热驱动微型电场传感器设计与仿真北大核心CSCD
作者：叶超龚超陈贤祥彭春荣陈绍凤夏善红
发表期刊：中国机械工程 2005年z1期
关键词：热驱动微型电场传感器仿真
摘要：设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感器的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结果,计算了感应电流的大小;讨论了所涉及的工艺过程.
干涉型光纤微弱直流电场传感器的设计北大核心CSCDCSTPCD
作者：王晓扬李新碗汪歆都智刚陈建平
发表期刊：传感技术学报 2008年5期
关键词：电场传感器电致伸缩光纤干涉仪换能器
摘要：主要研究了基于Michelson干涉仪的光纤微弱电场传感器的原理,设计并实现了PLZT非线性电致伸缩材料为敏感元件的"工"字型微弱直流电场传感及其探测系统,该系统能较好解决1/f噪声问题.实验结果表明,系统对被测电场具有非常好的线性响应.
一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造CSTPCD
作者：陶虎彭春荣陈贤祥白强陈绍凤夏善红
发表期刊：电子器件 2006年3期
关键词：电场传感器微加工技术压电陶瓷
摘要：一种新型的,以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器.此种传感器利用了新型的电场感应模式,采用微加工技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低.本文阐述了此种传感器的工作原理,并通过计算机模拟验证了可行性,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程.实验数据表明,新型电场传感器的分辨率达到250 V/m.
海底电场传感器原理及研制技术北大核心CSCDCSTPCD
作者：邓明刘志刚白宜诚颜送清邓靖武储伟光
发表期刊：地质与勘探 2002年6期
关键词：海洋探测大地电磁电场传感器海洋试验
摘要：因海底电场信号微弱、海下自然环境复杂以及海水导电介质以氯离子为主等原因,用于海下电场信号测量的电场传感器在材料和结构上有其特殊性.研制海底电场传感器成为开展海洋大地电磁探测的重要技术内容之一.研制过程遇到的主要技术问题有:海底电极材料的选择;电极的制作工艺;承压与密封技术;海水运动对测量产生不利影响的克服办法;水下弱信号传输的抗干扰问题,等等.阐述了对上述问题的解决办法,提出了海底电场传感器的全套研制方案,并列举了相关的室内模拟实验和海洋试验的结果.
引信MEMS静电探测器阵列设计北大核心CSCDCSTPCD
作者：郝晓辉徐立新崔占忠陈曦
发表期刊：光学精密工程 2009年6期
关键词：微机电系统静电探测阵列引信电场传感器有限元法
摘要：引信可以利用空中目标运动产生的静电场信息对目标进行探测,而MEMS的特殊性能非常适合于引信静电探测器的设计.在引信有限的体积内布设MEMS静电探测阵列,通过对目标静电场信息进行检测,可以获得目标的位置和速度信息.本文运用表面加工工艺设计了一种MEMS薄膜电极的垂直振动式电场传感器阵列.介绍了该电场传感器探测单元及阵列的结构、组成及工作原理,说明了该器件的加工工艺.通过MEMS静电探测单元的空间布阵,研究了引信MEMS静电探测阵列对目标…查看全部>>
多驱动电极垂直限幅振动式微型电场传感器CSCD
作者：龚超邓凯陶虎白强陈绍凤夏善红
发表期刊：电子器件 2005年1期
关键词：电场传感器微机电系统驱动模式
摘要：设计了一种具有四个驱动电极和独特支撑结构并基于MEMS技术制作的微型电场传感器.该传感器的四个驱动电极具有完全相同的形状,在使用时可以将其中的两个用作驱动,另外两个作为振动检测电极,监控振动情况.传感器的支撑结构可以限制振动幅度,使传感器在脉冲信号驱动下也能稳定工作.因此该电场传感器除了具备其它微型电场传感器的优点以外,还可以根据应用场合的需要选择不同的驱动模式.从而可以根据具体应用的要求,使用较简单的测试系统减轻重量,或使用较复杂的…查看全部>>
球形偶极子电场传感器的仿真建模与分析北大核心CSCDCSTPCD
作者：刘卫东刘尚合万博王阳阳
发表期刊：高压电器 2011年3期
关键词：电磁脉冲时域测试球形偶极子电场传感器
摘要：针对常用瞬态电磁脉冲测试手段的缺点,笔者给出了一种新型的球形偶板子电场传感器,并对其进行了仿真建模和分析.文中分别在时、频域研究了负载阻抗变化和传感器尺寸变化对其测试特性的影响,并直观地给出了传感器输出电压的波形失真情况及其频率特性.结果显示:传感器低频特性受其负载阻抗影响显著,而其高频特性受传感器尺寸影响显著.分析结果对球形偶极子电场传感器研制中的参数优化和选择具有一定的参考价值.

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