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- MEMS工艺制备pH-ISFET/REFET功能膜研究CSTPCD摘要：微电子技术的快速发展,促使硅基传感器向着集成化、微型化、可批量加工方向发展.对于pH-ISFET集成芯片而言,如何以MEMS工艺制备性能优良的pH功能膜,是其发展的关键.目的:以适合批量加工的MEMS工艺研制pH功能膜;方法:在小尺寸集成芯片的基础上,以MEMS工艺分别制备Ta2O5材料的pH敏感膜,PTFE材料的pH钝化膜; 结果:在pH1～12范围内,Ta2O5膜pH-ISFET对H+的灵敏度达56 mV/pH,PTFE膜REFE…查看全部>>
- 微型固态库仑滴定传感器的研制北大核心CSCD摘要：本文介绍了一种离子敏场效应管（ＩＳＦＥＴ）与库仑滴定分析技术相结合而形成的固态库仑滴定传感器，采和ＭＯＳＥＩＣ工艺和硅微机机械加工制成了尺寸为６×７ｍｍ＾２上面含有ＩＳＦＥＴ敏感元件及执行元件的工作管芯，可对有效滴定体系约为０．２μＬ的酸碱溶液在３０秒内完成库仑滴定分析，其分析结果与常规的容量分析相一致。
- ISFET的设计制造和封装技术摘要：本文介绍了ＩＳＦＥＴ（离子敏场效应管）的结构原理、设计考虑、制造工艺和封装技术，提出了背接触封装结构，提高了ＩＳＦＥＴ型ＰＨ传感器的可靠性和使用寿命。