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一种新型体硅谐振加速度计
北大核心
CSCD
作者：
贾玉斌
郝一龙
张嵘
发表期刊：
半导体学报 2005年2期
关键词：
MEMS加速度计
谐振激励和敏感
体硅工艺
频率漂移
摘要：
设计了一种谐振加速度计.这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏感梳.利用梳状电极每个音叉被静电激励和敏感.利用MEMS体硅工艺研制了这种新型加速度计,测试的灵敏度为27.3Hz/g,分辨率为167.8μg.
