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金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅱ)--扩散反应理论和气敏晶体的介观效应
CSTPCD
作者:
刘文利
李宇兵
李蕾
高建华
裘南畹
发表期刊:
郑州轻工业学院学报(自然科学版) 2000年4期
关键词:
扩散反应方程
晶体
晶粒尺寸
金属氧化物
介观效应
Fermi统计
摘要:
通过对扩散反应方程的求解和无量纲分析给出了响应时间和恢复时间随膜厚、气体浓度变化的关系式.由于气敏晶体尺寸r0→0时不能满足热力学极限,于是对Fermi统计公式提出了修正,并由此推出了最佳晶粒尺寸r0*的计算公式,推导出了电导激活能随膜厚变化的曲线.