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  • MEMS可编程光栅动态驱动电路的研制北大核心CSCDCSTPCD
    梁庆苑伟政虞益挺乔大勇
    传感技术学报 2008年4期
    MEMS可编程光栅高压运放驱动电路自激
    摘要：MEMS可编程光栅的工作性能很大程度依赖于驱动电路的性能.本文根据MEMS可编程光栅的工作特点及结构参数,提取出光栅的等效电容值,并采用集成高压运放研制出一种新型的MEMS可编程光栅的动态驱动电路.为了避免自激振荡的发生,电路中采用了频率补偿和并联反馈电容的方法,有效提高了电路的稳定性.实际电路经过测试,其动态性能与PSPICE10仿真的结果非常吻合.该动态驱动电路具有高的电压输出范围(0～180 V),较高的频率响应(10 kHz)…查看全部>>