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  • 作者单位
  • 中国科学院半导体研究所(3)
  • 华中科技大学(2)
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  • 北京大学(1)
  • 四川大学(1)
  • 大连理工大学(1)
  • 浙江大学(1)
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  • 语种
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  • 关键词
  • MOS电容(20)
  • 4H-SiC(3)
  • 碳化硅(3)
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  • N2O氮化(1)
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  • 作者
  • 刘忠立(3)
  • 于军(2)
  • 徐静平(2)
  • 李诚瞻(2)
  • 赵艳黎(2)
  • 钟德刚(2)
  • 陈喜明(2)
  • 严晓浪(1)
  • 从密芳(1)
  • 何宝平(1)
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