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压电陶瓷微位移驱动器概述

陈大任

电子元件与材料1994，Vol.13Issue(1)：P.2-7,6.
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电子元件与材料1994，Vol.13Issue(1)：P.2-7,6.

压电陶瓷微位移驱动器概述

陈大任1

作者信息

  • 1. 中科院上海硅酸盐研究所
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摘要

关键词

压电陶瓷/微位移驱动器

分类

信息技术与安全科学

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陈大任..压电陶瓷微位移驱动器概述[J].电子元件与材料,1994,13(1):P.2-7,6.

电子元件与材料

OA北大核心

1001-2028

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