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关于几种超硬非金属材料高精度基片研抛方法的研究

史兆礼

电子元件与材料1995，Vol.14Issue(4)：P.48-51,4.
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电子元件与材料1995，Vol.14Issue(4)：P.48-51,4.

关于几种超硬非金属材料高精度基片研抛方法的研究

史兆礼1

作者信息

  • 1. 中国科学院计算技术研究所
  • 折叠

摘要

关键词

超硬非金属材料/非金属材料/基片/研抛

分类

通用工业技术

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史兆礼..关于几种超硬非金属材料高精度基片研抛方法的研究[J].电子元件与材料,1995,14(4):P.48-51,4.

电子元件与材料

OA北大核心

1001-2028

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