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薄膜多层布线工艺分析

郭景兰

电子元件与材料1996，Vol.15Issue(2)：P.45-48,4.
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电子元件与材料1996，Vol.15Issue(2)：P.45-48,4.

薄膜多层布线工艺分析

郭景兰1

作者信息

  • 1. 北京半导体器件一厂
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜电器/多层布线/布线/混合集成电路

分类

信息技术与安全科学

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郭景兰..薄膜多层布线工艺分析[J].电子元件与材料,1996,15(2):P.45-48,4.

电子元件与材料

OA北大核心

1001-2028

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