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微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量

王明军 周勇 陈吉安 杨春生 张亚民 高孝裕 周志敏 张泰华

电子元件与材料2004，Vol.23Issue(12)：13-16,4.
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电子元件与材料2004，Vol.23Issue(12)：13-16,4.

微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量

Measurements of Elastic Modulus and Residual Stress of Nickel Film by Microbridge Testing Methods

王明军 1周勇 1陈吉安 1杨春生 1张亚民 1高孝裕 1周志敏 1张泰华2

作者信息

  • 1. 上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030
  • 2. 中国科学院力学研究所,非线性力学国家重点实验室,北京,100080
  • 折叠

摘要

关键词

材料测量与分析技术/镍膜微桥/MEMS技术/弹性模量/残余应力

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王明军,周勇,陈吉安,杨春生,张亚民,高孝裕,周志敏,张泰华..微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量[J].电子元件与材料,2004,23(12):13-16,4.

基金项目

国家重点基础研究发展规划(973)项目(G1999033103) （973）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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