电子元件与材料2002，Vol.21Issue(7)：1-4,4.
微电子封装中FeCl3蚀刻液沉淀失效及再恢复
The Research on Deposition Failure and Regeneration of FeCl3 Etchant in Microelectronics Packaging
摘要
关键词
氯化铁溶液/高玻美度/沉淀失效/再恢复分类
化学化工引用本文复制引用
黄辉,黄乐,马莒生..微电子封装中FeCl3蚀刻液沉淀失效及再恢复[J].电子元件与材料,2002,21(7):1-4,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(69836030) （69836030）
