电子元件与材料2004，Vol.23Issue(10)：17-19,3.
退火工艺对钛酸锶钡薄膜结构的影响
Stracture of Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Films Prepared by Sputterring Dependance on Annealing Process
摘要
关键词
无机陶瓷材料/BST薄膜/退火/择优取向/RMS/XRD/AFM分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵莉,杨传仁,冷文建,陈宏伟,符春林,廖家轩,高志强..退火工艺对钛酸锶钡薄膜结构的影响[J].电子元件与材料,2004,23(10):17-19,3.基金项目
国家"973"项目 （）
