电子元件与材料2005，Vol.24Issue(5)：17-20,4.
悬臂梁式硅微加速度计的研制
Develop of Cantalever Micro-silicon Accelerometer
摘要
关键词
电子技术/MEMS/硅微加速度计/"无掩膜"腐蚀/多芯片组装分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
单光宝,阮晓明,姚军,耿增建..悬臂梁式硅微加速度计的研制[J].电子元件与材料,2005,24(5):17-20,4.基金项目
"十五"国防预研资助项目(41308050102) （41308050102）
"十五"预研<航天支撑技术>资助项目(417010105-2) （417010105-2）
