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SOG局部平坦化技术研究

李红征 陈海峰 郭晶磊

电子与封装2002，Vol.2Issue(5)：17-20,4.
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电子与封装2002，Vol.2Issue(5)：17-20,4.

SOG局部平坦化技术研究

李红征 1陈海峰 1郭晶磊1

作者信息

  • 1. 无锡微电子科研中心二室,江苏,无锡,214035
  • 折叠

摘要

关键词

SOG/平坦化/涂布/烘焙

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李红征,陈海峰,郭晶磊..SOG局部平坦化技术研究[J].电子与封装,2002,2(5):17-20,4.

电子与封装

1681-1070

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