电子元件与材料2007，Vol.26Issue(2)：20-23,4.
制备工艺对ZnO薄膜的结构与光学性质的影响
Influence of fabrication technique on structure and optical properties of ZnO thin films
摘要
关键词
半导体技术/射频磁控反应溅射/ZnO外延薄膜/光致发光分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵银平,丁瑞钦,朱慧群,胡怡,王忆,汪河洲..制备工艺对ZnO薄膜的结构与光学性质的影响[J].电子元件与材料,2007,26(2):20-23,4.基金项目
国家973计划资助项目(2004CB719804) （2004CB719804）
广东省自然科学基金资助项目(04011770) （04011770）
江门市科技计划资助项目[江财企2004(59)]. （59）
