电子元件与材料2006，Vol.25Issue(12)：20-26,7.
旋转载体驱动硅微机械陀螺的设计和性能检测
Design and Performance Test of a Silicon Micromachined Gyro Driving by Rotating Carrier
摘要
关键词
电子技术/旋转载体/微机械/陀螺/角速度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张福学,王宏伟,张伟,毛旭,张楠..旋转载体驱动硅微机械陀螺的设计和性能检测[J].电子元件与材料,2006,25(12):20-26,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(60272001) （60272001）
北京市教委科技发展计划资助项目(82062013) （82062013）
北京市传感器重点实验室资助项目(53062016) （53062016）
