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ITO薄膜厚度和含氧量对其结构与性能的影响

辛荣生 林钰

电子元件与材料2007，Vol.26Issue(7)：21-23,3.
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电子元件与材料2007，Vol.26Issue(7)：21-23,3.

ITO薄膜厚度和含氧量对其结构与性能的影响

Influence of thickness and oxygen content of ITO thin films on its structure and properties

辛荣生 1林钰2

作者信息

  • 1. 郑州大学,材料科学与工程学院,河南,郑州,450052
  • 2. 河南教育学院,化学系,河南,郑州,450014
  • 折叠

摘要

关键词

无机非金属材料/ITO膜/氧氩流量比/电阻率/透光率

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

辛荣生,林钰..ITO薄膜厚度和含氧量对其结构与性能的影响[J].电子元件与材料,2007,26(7):21-23,3.

基金项目

河南省科技攻关项目(0224380029) （0224380029）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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