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PBL隔离技术

陈志勇 郑若成 徐政

电子与封装2002，Vol.2Issue(5)：21-23,64,4.
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电子与封装2002，Vol.2Issue(5)：21-23,64,4.

PBL隔离技术

陈志勇 1郑若成 1徐政1

作者信息

  • 1. 无锡微电子科研中心二室,江苏,无锡,214035
  • 折叠

摘要

关键词

LOCOS/PBL/鸟嘴/多晶硅

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈志勇,郑若成,徐政..PBL隔离技术[J].电子与封装,2002,2(5):21-23,64,4.

电子与封装

1681-1070

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