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溶胶–凝胶法制备ATO-SiO2抗静电复合薄膜的特性研究

吴春春 杨辉 冯博 陆文伟

电子元件与材料2004,Vol.23Issue(7):22-24,3.
电子元件与材料2004,Vol.23Issue(7):22-24,3.

溶胶–凝胶法制备ATO-SiO2抗静电复合薄膜的特性研究

Research on the Characteristics of Antimony Doped Tin Oxide(ATO)- SiO2 Antistatic Composite Thin Film by Sol-gel

吴春春 1杨辉 1冯博 1陆文伟2

作者信息

  • 1. 浙江大学材料系,浙江,杭州,310027
  • 2. 宁波际荣电子股份有限公司,浙江,余姚,315491
  • 折叠

摘要

关键词

抗静电/薄膜/溶胶–凝胶/掺锑氧化锡

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吴春春,杨辉,冯博,陆文伟..溶胶–凝胶法制备ATO-SiO2抗静电复合薄膜的特性研究[J].电子元件与材料,2004,23(7):22-24,3.

基金项目

中小企业创新基金资助项目(00C26213310610) (00C26213310610)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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