电子元件与材料2004,Vol.23Issue(7):22-24,3.
溶胶–凝胶法制备ATO-SiO2抗静电复合薄膜的特性研究
Research on the Characteristics of Antimony Doped Tin Oxide(ATO)- SiO2 Antistatic Composite Thin Film by Sol-gel
摘要
关键词
抗静电/薄膜/溶胶–凝胶/掺锑氧化锡分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴春春,杨辉,冯博,陆文伟..溶胶–凝胶法制备ATO-SiO2抗静电复合薄膜的特性研究[J].电子元件与材料,2004,23(7):22-24,3.基金项目
中小企业创新基金资助项目(00C26213310610) (00C26213310610)