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VOx薄膜的sol-gel法制备

曾亦可 吴帮军 姜胜林 邓传益

电子元件与材料2007,Vol.26Issue(4):22-24,3.
电子元件与材料2007,Vol.26Issue(4):22-24,3.

VOx薄膜的sol-gel法制备

Fabrication of VOx thin films by sol-gel processing

曾亦可 1吴帮军 1姜胜林 1邓传益1

作者信息

  • 1. 华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074
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摘要

关键词

电子技术/VOx/sol-gel/薄膜/R-t特性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

曾亦可,吴帮军,姜胜林,邓传益..VOx薄膜的sol-gel法制备[J].电子元件与材料,2007,26(4):22-24,3.

基金项目

国家"973"计划资助项目(2004CB619300) (2004CB619300)

新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-04-0703) (NCET-04-0703)

湖北省科技攻关计划资助项目(2005AA101C04) (2005AA101C04)

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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