电子元件与材料2008，Vol.27Issue(9)：26-30,5.
声表面波气体传感器的研究进展
Research progress of SAW gas sensors
杨楷 1李志刚 1景玉鹏 1陈大鹏1
作者信息
- 1. 中国科学院,微电子研究所硅器件与集成技术研究室,北京,100029
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摘要
关键词
电子技术/声表面波气体传感器/综述/响应时间/灵敏度/无源无线传感技术分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨楷,李志刚,景玉鹏,陈大鹏..声表面波气体传感器的研究进展[J].电子元件与材料,2008,27(9):26-30,5.
