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氧气浓度对ZnO薄膜表面形貌和微结构的影响

肖慧 徐哈宁 朱昌

电子元件与材料2009，Vol.28Issue(1)：28-30,3.
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电子元件与材料2009，Vol.28Issue(1)：28-30,3.

氧气浓度对ZnO薄膜表面形貌和微结构的影响

Effects of oxygen concentration on surface morphology and microstructure of ZnO thin films

肖慧 1徐哈宁 1朱昌2

作者信息

  • 1. 东华理工大学,核工程技术学院,江西,抚州,344000
  • 2. 西安工业大学,光电工程学院,陕西,西安,710032
  • 折叠

摘要

关键词

无机非金属材料/ZnO薄膜/氧气浓度/形貌/结构

分类

数理科学

引用本文复制引用

肖慧,徐哈宁,朱昌..氧气浓度对ZnO薄膜表面形貌和微结构的影响[J].电子元件与材料,2009,28(1):28-30,3.

基金项目

陕西省外国专家局专项科研基金资助项目(No. 05JS02) （No. 05JS02）

电子元件与材料

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-2028

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